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優秀!普照材料高精度石英掩膜基版樣品試制項目通過省科技廳驗收

來源: 作者:信產集團 胡丹 日期:2024-06-07

近日,湖南能源集團所屬湖南普照信息材料有限公司(以下簡稱“普照材料”)承擔的湖南省高新技術產業科技創新引領計劃“高精度石英掩膜基版樣品試制項目”順利通過湖南省科技廳驗收,獲評價結論“優秀”。

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湖南省科技創新計劃項目是圍繞湖南省科技、經濟和社會發展重大戰略,面向科技前沿、面向經濟建設主戰場、面向湖南省重大科技需求,專門用于支持基礎研究、技術研發、成果轉化以及其他創新能力提升的科技活動。

項目驗收采用同行評議、第三方評估和測試、用戶評價、現場核查等方式開展一次性綜合績效評價。

普照材料“高精度石英掩膜基版樣品試制項目”總投資約2000萬元,通過自主研發和合作開發,達成了TFT用石英基板產品平面度和平行度高性能指標要求,攻克了Thin film膜系及PSM鉬硅膜系關鍵核心技術,為建設中的8.5代及以下高精度掩模基板項目實施提供了關鍵技術支持,同時為公司產品向半導體用掩模基板迭代升級打下堅實基礎。

下階段,普照材料將持續加大新技術、新工藝的研發應用投入,加強研發平臺建設,形成“以屏帶芯,屏芯齊進”的戰略布局,為我國平板顯示與半導體產業鏈發展貢獻力量。